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浙江理工大學光學平臺案例
作者:小編 點擊: 發(fā)布時間:2023-05-12 21:02:32
重要指標:
1:平面度小于0.05mm/㎡
2:固有頻率小于1.5Hz
3:振幅小于1μm
4:采用原裝德國進口FESTO氣動元件,自動充氣自動平衡
5:工作壓力0.35~0.6Mpa
6:適用于科研級精密隔振要求的領域使用
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